談?wù)務(wù)婵涨惑w的壓力控制系統(tǒng)
真空腔體的壓力控制系統(tǒng)是維持內(nèi)部真空狀態(tài)的關(guān)鍵組成部分。壓力控制系統(tǒng)通常由真空泵、壓力傳感器和控制器等組成。
真空泵是壓力控制系統(tǒng)中的核心設(shè)備，它的作用是將內(nèi)部的氣體抽出，以降低內(nèi)部的壓力。根據(jù)不同的應(yīng)用需求，可以選擇不同類型的真空泵，如機(jī)械泵、干泵、油泵等。機(jī)械泵通常采用旋轉(zhuǎn)葉片或活塞式結(jié)構(gòu)，可以將氣體從腔體中抽出。干泵和油泵適用于對(duì)清潔度和精度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景。
壓力傳感器用于監(jiān)測(cè)
真空腔體內(nèi)的壓力。它能夠?qū)毫π盘?hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再傳輸給控制器進(jìn)行處理和調(diào)控。常見的壓力傳感器有電阻式、電容式和壓電式等，可根據(jù)不同的測(cè)量范圍和精度要求進(jìn)行選擇。
控制器能夠根據(jù)壓力傳感器的信號(hào)對(duì)真空泵進(jìn)行控制，以維持內(nèi)部的真空狀態(tài)。控制器通常具備手動(dòng)和自動(dòng)控制模式，手動(dòng)模式允許操作人員根據(jù)需要手動(dòng)調(diào)節(jié)真空泵的工作狀態(tài)，而自動(dòng)模式則能夠根據(jù)預(yù)設(shè)的壓力值對(duì)真空泵進(jìn)行自動(dòng)調(diào)控。
在壓力控制系統(tǒng)中，還需要考慮保護(hù)裝置的設(shè)置。例如，當(dāng)真空腔體內(nèi)的壓力低于預(yù)設(shè)的下限值時(shí)，控制器應(yīng)該能夠自動(dòng)關(guān)閉真空泵以免設(shè)備損壞。同時(shí)，為了確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性，需要對(duì)壓力控制系統(tǒng)進(jìn)行定期的維護(hù)和校準(zhǔn)。
